悶聲干大事!德高潔開啟電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)新紀(jì)元!

    時間:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設(shè)備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信

    電子級多晶硅是我國發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略原材料,長期以來,生產(chǎn)技術(shù)一直由國外壟斷,成為中國發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的瓶頸。隨著國內(nèi)企業(yè)的不斷努力,近年來國內(nèi)電子級多晶硅迎頭趕上,擺脫國外進口依賴,在質(zhì)量、產(chǎn)量、出口等方面取得不錯成績,未來,中國多晶硅生產(chǎn)在全球市場具有良好的發(fā)展前景。

    由于電子級多晶硅高純度的規(guī)格,為達到生產(chǎn)要求,企業(yè)不僅在生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)設(shè)備上不斷升級,為確保電子級多晶硅質(zhì)量不受更多外在因素影響,對生產(chǎn)環(huán)境也近乎達到苛刻的要求,目前電子級多晶硅生產(chǎn)的主流方式是西門子改良法,還原爐作為改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備,是影響多晶硅生產(chǎn)和產(chǎn)能的關(guān)鍵因素,任何顆粒性雜質(zhì)、物料等物質(zhì)余留在爐內(nèi),都會對產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。

    在多晶硅生產(chǎn)過程中,多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)壁會被高溫混合氣體燒黑,表面沉積一定厚度的多晶硅、無定型硅、高硅氯聚物等雜物,導(dǎo)致還原爐內(nèi)表面粗糙不平等,影響生產(chǎn)質(zhì)量、良品率低、生產(chǎn)成本上升、生產(chǎn)效率下降,所以在還原爐運行一個周期結(jié)束后,必須對還原鐘罩內(nèi)部進行清洗,確保電子級多晶硅在高純環(huán)境下生產(chǎn)。
     
    德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)

    德高潔作為一家專業(yè)的環(huán)保設(shè)備供應(yīng)商,早在2009年就研發(fā)出多晶硅還原爐清洗系統(tǒng),并經(jīng)過對客戶的實際應(yīng)用和需求,充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,完成了電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)研發(fā),近年來,德高潔緊跟多晶硅行業(yè)生產(chǎn)腳步,技術(shù)也在不斷升級更新,一直保持前沿清洗技術(shù),為多晶硅廠商提供與電子級多晶硅生產(chǎn)技術(shù)并駕齊驅(qū)配套清洗解決方案,旨為電子級多晶硅的高純度生產(chǎn)助力。

    德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機構(gòu)、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)、控制裝置、微負(fù)壓系統(tǒng)、清洗工作臺、電氣控制系統(tǒng)等,系統(tǒng)核心部件、元件和附件原裝進口,在確保系統(tǒng)運行穩(wěn)定可靠前提下,完成對電子級多晶硅還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。

    系統(tǒng)以高壓水射流為動力驅(qū)動三維洗罐器,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液,用純水漂洗,用高純水沖洗完成清洗過程;隨后用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,加熱后(50~80℃)烘干加熱鐘罩,再逐步降溫到常溫,通過連續(xù)干燥,完成干燥過程。
     
    高壓水清洗執(zhí)行機構(gòu)工作狀態(tài)

    全密閉式清洗烘干系統(tǒng),使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設(shè)計出口排放,基本消除了對環(huán)境境污染及現(xiàn)場操作人員的安全隱患。系統(tǒng)加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作,缺水保護,超壓保護、漏電保護,水風(fēng)工作互鎖等),確保安全運行。

    德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)自動化程度高,采用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干,清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定,同時具有半自動或手動功能,一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程,可實現(xiàn)遠(yuǎn)程對樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。
     
    電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)控制裝置

    除此之外,德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)可根據(jù)客戶需求,結(jié)合廠商使用的不同鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設(shè)計。目前,德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內(nèi)90%的用戶,為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。

    德高潔成立于1994年,在環(huán)保除塵、凈化成套裝備、工業(yè)設(shè)備清潔領(lǐng)域已積累了近三十年的業(yè)內(nèi)寶貴經(jīng)驗,期間自主研發(fā)并生產(chǎn)了一系列高壓清洗機(120~2800bar)、自動化清洗系統(tǒng)、智能清洗爬壁機器人等,公司擁有20余人研發(fā)團隊,旗下部署工藝組、技術(shù)組、質(zhì)檢組,實時管控產(chǎn)品性能、質(zhì)量,并通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。長期服務(wù)于國企、軍工、外資、上市公司等500強企業(yè),德高潔將繼續(xù)以客戶需求為基準(zhǔn),用現(xiàn)代技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)工藝,竭誠為客戶服務(wù)。

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